基于OBE理念的半导体工艺类课程教学改革初探——以《光电子器件工艺与设计》课程为例.pdf

"基于OBE理念的半导体工艺类课程教学改革初探——以《光电子器件工艺与设计》课程为例" 基于OBE理念的半导体工艺类课程教学改革初探，以《光电子器件工艺与设计》课程为例，旨在解决半导体工艺类课程存在的问题，提高学生在半导体工艺技术领域的创新和实践能力。本文将从OBE理念出发，分析《光电子器件工艺与设计》课程存在的问题，提出改革策略，明确教学目标，重新设计课程内容和教学方法，培养学生的创新意识和分析解决半导体工艺领域复杂工程问题的能力。 一、半导体工艺类课程的重要性 半导体工艺类课程是高等院校电子信息类专业的重要课程之一，以半导体物理、固体物理等为基础，针对半导体类器件的制作工艺流程展开教学。半导体工艺类课程涉及知识面广，综合性强，在课程内容和教学方式等方面存在一些问题。 二、半导体工艺类课程存在的问题 （一）课程內容与课时不匹配，以理论教学为主 《光电子器件工艺与设计》课程涉及的内容包括半导体材料的制备与外延生长、光刻工艺、电子束曝光、刻蚀、薄膜制备等，每一项工艺又涉及到半导体物理、固体物理、化学等基础知识。之前该课程只有32学时，学生很难在如此短的时间内掌握如此多的内容。 （二）教学方式比较单一，理论灌输为主 《光电子器件工艺与设计》课程的教学方式比较单一，主要是以理论灌输式课堂教学为主，没有结合先进的现代化教学方式。 （三）考核评价方式单一，试卷考核占主导 《光电子器件工艺与设计》课程以期末试卷考试为主要考核方式，考核内容主要是理论知识，最后的总评成绩是卷面成绩与平时成绩相结合计算出来的。 三、基于OBE理念的光电子器件工艺与设计课程改革 基于OBE理念的《光电子器件工艺与设计》课程改革，旨在解决传统教学中存在的问题，以预期学习所达到的目标为中心来设计、实施和评价教学。OBE理念强调最终学习成果、注重实践过程、强调以学生为中心。 （一）确立符合OBE理念的课程目标 OBE理念下课程目标是自上而下建立的，也就是学校根据国家和行业发展的需求制定本科专业的培养目标，然后根据培养目标来合理设计该专业的毕业要求，而毕业要求的达成则需要通过课程体系来支撑，课程目标就是根据其支撑的毕业要求指标点来设计的。 （二）基于OBE理念的课程设计 基于OBE理念的课程设计，旨在培养学生在半导体工艺技术领域的创新和实践能力。课程目标包括掌握光电子器件的原理、结构和性能，培养学生能够针对光电子器件工艺领域复杂问题的解决方案，能够设计满足特定要求的光电子器件，并确定相应工艺制作流程。 （三）基于OBE理念的教学方式改革 基于OBE理念的教学方式改革，旨在解决传统教学方式的单一性，以学生为中心，强调实践过程和最终学习成果。教学方式包括项目式教学、基于问题的教学、实验教学等，以增强学生的实践能力和创新能力。